壓電閥最早出現(xiàn)在20世紀(jì)90年代SIEMENS公司推出的SPIARTPS智能調(diào)節(jié)閥定位器中。它利用壓電晶體的逆壓電效應(yīng)，在實際應(yīng)用當(dāng)中具有高抗震性、高可靠性、低功耗、節(jié)能等特點，完全能滿足智能閥門定位器對電氣—機械轉(zhuǎn)換單元的要求。

    圖1是比較早期噴嘴擋板式壓電閥的結(jié)構(gòu)圖，主要由擋板、壓電疊堆及背壓室組成。工作時，先給壓電疊堆一定的初始電壓。當(dāng)給壓電疊堆1增加電壓，同時給壓電疊堆2減少電壓時，擋板將做逆時針轉(zhuǎn)動；當(dāng)給壓電疊堆1減少電壓，而同時給壓電疊堆2增加電壓時，擋板將做順時針轉(zhuǎn)動。這樣就會因為電壓的控制而改變擋板與左、右噴嘴之間的距離，從而達(dá)到輸出口壓力變化，實現(xiàn)對系統(tǒng)的有效控制。